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    Erstes Promotionsvorhaben am Lehrstuhl FUW neigt sich dem Ende zu. [mehr]
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    Wissenschaftsladen öffnet wieder seine Türen. [mehr]
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  • Besuch bei :metabolon
    Das FUW-Team unterwegs in Lindlar [mehr]
  • Humboldt-Stipendiat aus Nigeria forscht im Solinger Forum Produktdesign
    Seit Anfang Juni ist der nigerianische Wissenschaftler Dr. Peter Farayibi zu Gast bei uns! [mehr]
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Triboindenter Hysitron

Der Hysitron TriboIndenter® findet Anwendung in der Charakterisierung von Dünnschichten. Dies geschieht durch Nanoindentation mit einer harten Spitze von bekannter Geometrie. Die Eindringkräfte liegen dabei typsicherweise im mN- und die Eindringtiefen im nm-Bereich, wodurch sichergestellt wird, dass das unter der Dünnschicht befindliche Material keinen Einfluss auf die Messung nimmt.  Anders als bei einem gewöhnlichen Indenter für Charaktersierung im makroskopischen Bereich werden dabei nicht die geometrischen Maße des Abdruckes zur Bestimmung der mechanischen Eigenschaften verwendet. Stattdessen wird Eindringkraft und -weg kontinuierlich während der Indentierung aufgezeichnet. Durch die bekannte Geometrie der Spitze und die aufgezeichneten Messdaten kann so auf die Materialhärte und den E-Modul geschlossen werden. Neben der Indentation wird das Gerät auch für Scratch-Tests eingesetzt, wodurch das Haftvermögen von Dünnschicht charakterisiert werden kann. Dabei fährt die Spitze mit konstanter oder steigender Eindringkraft für eine vorgegebene Strecke über die Dünnschicht. Zur Bildgebung kann das Gerät des Weiteren als Rastersondenmikroskop eingesetzt werden.

Technische Spezifikationen:

  • Berkovich-Indenter / Northstar-Indenter
  • Maximale Kraft: 10,30mN; 500mN
  • Last Auflösung: 1nN
  • Last Grundrauschen: 100nN
  • Maximale Eindringtiefe: 20 µm
  • Thermischer Drift: <0.05nm/sec
  • Bild Auflösung: 0.04nm
  • Bild Grundrauschen: 0.2nm

Anwendung:

  • Bestimmung von Härte und E-Modul dünner Schichten (auch Mapping)
  • Haftcharakterisierung von Dünnschichten durch Scratch-Tests
  • Untersuchung des plastischen Fließverhaltens